PVD1912真空镀膜机配置表 一、真空机组 1、2X70旋片泵(南光) 2、RTO300S罗茨泵(萃曼) 3、TYFB3600分子泵(泰岳恒) 4、阀门:GDZ3X400A高阀(全不锈钢结构),维持阀、前级阀、预抽阀为... ...
PVD1712A真空镀膜机配置表 一、真空机组 1、2X70旋片泵(南光) 2、RTO300S罗茨泵(萃曼) 3、TYFB3600分子泵(泰岳恒) 4、阀门:GDZ3X400B高阀(全不锈钢结构),维持阀、前级阀、预抽阀为... ...
PVD1612G真空镀膜机配置表 一、真空机组 1、2X70旋片泵(南光) 2、RTO300S罗茨泵(萃曼) 3、TYFB3600分子泵(泰岳恒) 4、阀门:GDZ3X400A高阀(全不锈钢结构),维持阀、前级阀、预抽阀为... ...
PVD1516真空镀膜机配置表 一、真空机组 1、2X30旋片泵(南光) 2、2X70旋片泵(南光) 3、RTO300S罗茨泵(萃曼) 4、KT500扩散泵(真龙) 5、阀门:GDZ2X500A高阀(全不锈钢结构),维持... ...
PVD12512E真空镀膜机配置表 一、真空机组 1、2X30旋片泵(南光) 2、2X70旋片泵(南光) 3、RTO300S罗茨泵(萃曼) 4、TYFB3600分子泵(泰岳恒) 5、阀门:GDZ2X400D高阀(全不锈钢结构... ...
FCS系列气体流量控制器是基于MCS51系列单片机配合外围器件,通过对三路或四路气体质量流量计的控制,实现镀镀机充气系统自动运行。本机可由用户编程设定,对反应气体随镀膜时间变化进行增减量控制。同时本机支持... ...